随着半导体行业的蓬勃发展，对其配套项目也提出了更高要求。特种气体供应没有形成有效的系统，钢瓶凌乱，管理混乱不相容气体混放等问题比较严重，极大的影响到用气安全。

特种气体废气处理方式

特种气体对身体健康以及环境都会产生很大的危害，如何处理特气废气，用什么设备处理，这里将会进行深入介绍。

特种气体废气现状

尾气作为特气系统的行生物不可避免的存在。过去，在很多高校，由于实验室用气量不大，建设单位的业主没有充分意识到尾气的排放问题，随着更多半导体工厂雨后春笋的涌现，生产用特气废气的排放越来越多的引起了重视。那么怎么排放，如何排放成为摆在很多用户面前的问题。

特气系统废气排放处理装置的处理方式:

尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择，不相容特种气体应分别设置废气处理装置;

尾气处理装置应靠近GR、GC等特种气体设备布置

特种气体废气处理方法宜采用干式处理吸附、式洗涤、加热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上几种方式的组合。